EDWARDS 愛(ài)德華 EH500 EH系列真空泵EH500
概述：
EH 機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。

機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。



應(yīng)用

半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2 激光



功能和優(yōu)勢(shì)

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。
它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機(jī)械裝置。這可提供：
安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行。
牢靠且防腐蝕。
先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。
經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門(mén)，因此可將維護(hù)要求降到低。
軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可確保潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。






容積（工作容積）
50Hz 505 m3h-1/300 ft3min-1
60Hz 605 m3h-1/335 ft3min-1
使用后備泵時(shí)的有效抽取速度
E1M40 或 E2M40 350 m3h-1/206 ft3min-1
E1M80 或 E2M80 400 m3h-1/236 ft3min-1
E1M175 或 E2M175 440 m3h-1/259 ft3min-1
E1M275 或 E2M275 460 m3h-1/271 ft3min-1
泵的壓差 ?
50Hz 0-110 mbar/0-83 Torr
60Hz 0-90 mbar/0-68 Torr
入口連接 ISO100
出口連接 ISO63
轉(zhuǎn)速
50Hz 0-2900 rpm
60Hz 0-3500 rpm
連續(xù)入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr
大出口壓力 1000 mbar/760 Torr
推薦的后備泵 GV80，E2M80
電源供給
50Hz 220-240V/380-415V
60Hz 230V/460V
馬達(dá)功率
碳?xì)浠衔?2.2kW/3hp
PFPE 2.2kW/3hp
ATEX 2.2kW
防爆型 3hp
環(huán)境溫度范圍
操作 5 至 40°C/40 至 104°F
存儲(chǔ) -10 至 80°C/14 至 176°F
大操作濕度 90% RH
推薦用油
標(biāo)準(zhǔn)型 Ultragrade 20
PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6
油容量
聯(lián)結(jié)器箱 1.5 升
軸桿封口儲(chǔ)油器 0.125 升
重量* 106 kg/233 lb