技術(shù)數(shù)據(jù)
容積(工作容積)
50Hz 310 m3h-1/185 ft3min-1
60Hz 375 m3h-1/220 ft3min-1
使用后備泵時的有效抽取速度
E1M40 或 E2M40 240 m3h-1/141 ft3min-1
E1M80 或 E2M80 274 m3h-1/161 ft3min-1
泵的壓差
50Hz 0-180 mbar/0-140 Torr
60Hz 0-150 mbar/0-115 Torr
入口連接 ISO63
出口連接 ISO40
轉(zhuǎn)速 ?
50Hz 0-2900 rpm
60Hz 0-3500 rpm
連續(xù)入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr
大出口壓力 1000 mbar/760 Torr
推薦的后備泵 GV80,E1M/E2M40,E1M/E2M80
電源電壓,3 相
50Hz 220 – 240V/380 – 415V
60Hz 230V/460V
馬達功率
碳氫化合物 2.2kW/3hp
PFPE 2.2kW/3hp
ATEX 2.2kW
防爆型 3 相
環(huán)境溫度范圍
操作 5 至 40°C/40 至 104°F
存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F
大操作濕度 90% RH
推薦用油
標(biāo)準(zhǔn)型 Ultragrade 20
PFPE 版本 Fomblin YVAC 16/6
油容量
聯(lián)結(jié)器箱 1.5 升/1.6 qt
軸桿封口儲油器 0.125 升
重量* 69 kg/152 lb
應(yīng)用
分析儀器
超高速離心機
覆層
脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
氣瓶充氣/排空
凝膠體干燥
手套式操作箱,干燥爐
實驗室工作臺上真空
氦檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
電子掃描顯微鏡 - SEM
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學(xué)儀器
渦輪分子前級泵
功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供:
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
先進的軸封技術(shù),處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到低。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小,而這些特點正是先進技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。