高純氬氣 性質(zhì)：無色無味無毒氣體?；瘜W(xué)性質(zhì)極不活潑，未形成任何化合物。相對密度ds(21.1℃)1.38。氣體密度1.650kg/m3(21.1℃)；液體密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸點(diǎn)-185.9℃。熔點(diǎn)-189.2℃。采用空氣分離提氬，即將液化的空氣進(jìn)行精餾，得到粗氬。抽出粗氬，經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬。高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護(hù)氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。 純 氬 GB/T4842—1995 Ar≥99.99% 高純氬 GB/T10624—1995 Ar≥99.9996%（優(yōu)等品） Ar≥99.9993%（一等品） Ar≥99.999%（合格品）純度上區(qū)別 價錢上也不同 性質(zhì)：無色無味無毒氣體?；瘜W(xué)性質(zhì)極不活潑，未形成任何化合物。相對密度ds(21.1℃)1.38。氣體密度1.650kg/m3(21.1℃)；液體密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸點(diǎn)-185.9℃。熔點(diǎn)-189.2℃。采用空氣分離提氬，即將液化的空氣進(jìn)行精餾，得到粗氬。抽出粗氬，經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬。高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護(hù)氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。 純 氬 GB/T4842—1995 Ar≥99.99% 高純氬 GB/T10624—1995 Ar≥99.9996%（優(yōu)等品） Ar≥99.9993%（一等品） Ar≥99.999%（合格品）