東莞豐泉?dú)怏w供應(yīng)站是一家集充裝、檢測(cè)、運(yùn)輸、銷售于一體的工業(yè)氣體專業(yè)公司,目前公司主要生產(chǎn)并經(jīng)營(yíng)的工業(yè)氣體有:氧氣、氮?dú)?、氬氣、二氧化碳、乙炔、混合氣體和多種液體氣體及多種規(guī)格與型號(hào)的零配件,氬氣多少錢一瓶,歡迎來(lái)單訂購(gòu)。
氬氣含量:99.9999(%)
執(zhí)行質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):GB/T10624-1995
CAS編號(hào):7440-37-1
氬氣的性質(zhì):
氬氣(Ar )
相對(duì)分子量:39.948
熔點(diǎn):83.8K,-189.35℃
沸點(diǎn),101.325 kPa:87.28K,-185.87℃
臨界溫度:150.86K,-122.29℃
臨界壓力:49.0MPa,48.98bar
臨界體積:74.59cm3/mol
氬氣的特殊用途:
用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣,為了提高硅晶體的質(zhì)量,如何選用較高純度的氬氣,是制作硅晶體的一個(gè)議題,通過(guò)對(duì)本裝置的使用。
氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時(shí),水分也小于1ppm時(shí),制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,這樣就提高了單晶的使用壽命并能達(dá)到要求,贏得客戶的滿意和市場(chǎng)的需求,由于一般液氬汽化后未經(jīng)過(guò)純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm,有時(shí)氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過(guò)了此范圍,但使用氬氣的客戶確不知道其質(zhì)量,所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響,有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何,只要經(jīng)過(guò)純化裝置的處理后,進(jìn)入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的,一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,這樣穩(wěn)定的氬氣對(duì)生產(chǎn)晶體質(zhì)量是有保證的。
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